高温老化房是为了达到满意的合格率，几乎所有产品在出厂前都要先藉由老化。

　　在半导体业界，器件的老化问题一直存在各种争论。像其它产品一样，半导体随时可能因为各种原因而出现故障，高温老化房老化就是藉由让半导体进行超负荷工作而使缺陷在短时间内出现，避免在使用早期发生故障。如果不藉由老化，很多半导体成品由于器件和制造制程复杂性等原因在使用中会产生很多问题。

　　在开始使用后的几小时到几天之内出现的缺陷称为早期故障，老化之后的器件基本上要求100%消除由这段时间造成的故障。准确确定高温老化房老化时间的唯一方法是参照以前收集到的高温老化房老化故障及故障分析统计数据，而大多数生产厂商则希望减少或者取消老化。

　　高温老化房老化制程必须要确保工厂的产品满足用户对可靠性的要求，除此之外，它还必须能提供工程数据，以便用来改进器件的性能。

　　对于高温老化房的故障分析：

　　1、对制冷系统进行查漏，用检漏仪和肥皂水相结合的方法检查，发现一热气旁通电磁阀的阀杆裂了约1cm的细缝。更换此电磁阀，对系统重新充氟，系统运行正常。由于上文可以看出，对该故障现象的分析和判断基本上是有易至难，先“外"后“里"，先“电气"后“制冷"的脉络进行分析和判断的，熟悉和了解试验箱的原理和工作过程是分析故障判断故障的基础。

　　2、未确定故障原因，结合试验箱的控制过程进一步确认故障原因，该试验箱拥有两套制冷机组。一为主机组，另一为辅助机组，在降温速率较大时，两组机组同时工作，在温度保持阶段初期，两组机组依然同时工作。待温度初步稳定下来，辅助机组停止工作，由主机组来维持温度的稳定。如果主机组R23泄露，会使主机组的制冷效果不大，由于降温过程中，两机组同时工作，故没有温度稳定不住的现象，而指示降温速率降低。在温度保持阶段，一旦辅助机组停止工作，主机组又无制冷作用，试验箱内的空气就会缓慢上升，当温度上升到一定程度，控制系统就会启动辅助机组来降温，将温度下降至设定值(-55℃)附近，然后辅助机组又停止工作，如此反复，便会出现如图3所示的故障现象。至此，已确认生产故障的原因是主机组的低温(R23)级机组的制冷剂R23泄漏。

　　3、电气系统没有问题，继续检查制冷系统。首先检查两组制冷机组的低温(R23)级压缩机的排气和吸气压力都较正常值偏低，而且吸气压力呈抽空状态，说明主制冷机组的制冷剂量不足。用手摸主机组R23压缩机的排气和吸气管路，发现排气管路的温度不高，吸气管路的温度也不低(未结霜)，这也说明了主机组的R23制冷剂缺乏，系统漏氟。

　　4、由于是温度保持不住，观察制冷压缩机在试验箱运行过程中是否能够启动，压缩机在试验箱运行过程中都能够启动，说明从主电源到各压缩机的电器线路正常，电器系统方面也没有问题。

　　5、高低温试验箱能过制冷，说明外部因素冷却水的问题可以排除。